外延（Epitaxy）是一种用于在单晶衬底上生长单晶薄膜的技术，源自希腊语 "epi"（意为 "在上面"）和 "taxis"（意为 "排列"）。这种技术能够使生长的薄膜继承衬底的晶体结构和取向，对于现代半导体工业具有至关重要的意义。外延生长的过程可以分为同质外

mocvd mbe lpe hwe lpehwe 2025-09-08 11:42  2